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一种超声喷雾热解镀膜装置

来源：爱go旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201520257987.5 （22）申请日 2015.04.27 （71）申请人重庆文理学院

地址 402160 重庆市永川区红河大道319号

（10）申请公布号 CN204570035U

（43）申请公布日 2015.08.19

（72）发明人程江;李璐;闫雪莲;杨鑫;胡荣;张晟熙（74）专利代理机构重庆弘旭专利代理有限责任公司

代理人熊雄

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种超声喷雾热解镀膜装置

（57）摘要

本实用新型公开了一种超声喷雾热解镀膜

装置，包括气柜（1）、超声雾化装置、喷雾头、和带基片（2）的加热台（3），其特征是：所述气柜（1）通过进气管（4）与超声雾化装置连通，所述超声雾化装置通过管道（5）与喷雾头连通，所述喷雾头位于加热台（3）方且与加热台（3）相对应，在所述加热台（3）下方设置有XY移动平台（13），在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。本实用新型具有结构设计巧妙、操作

方便、成本低廉的优点，采用它不但能够长时间进行大面积薄膜的制备，使薄膜的产品面积和厚度得到控制，而且还解决了镀膜过程中滴水问题的产生，提高了薄膜产品的成品率及品质。

法律状态

法律状态公告日

2015-08-19 2017-05-24

法律状态信息

授权

避免重复授权放弃专利权法律状态

授权

避免重复授权放弃专利权

权利要求说明书

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说明书

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