阳极氧化装置、阳极氧化方法[发明专利]

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专利名称：阳极氧化装置、阳极氧化方法专利类型：发明专利

发明人：八木靖司,青木一二,牛岛满申请号：CN02805687.6申请日：20021106公开号：CN1494736A公开日：20040505

摘要：本发明提供一种阳极氧化装置及阳极氧化方法，对被处理基板的被处理部的光照射均匀，由此在被处理基板面内能进行更均匀的阳极氧化处理。其具备：放射光的灯；设置于放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于放射的光到达被处理基板的途中、具有用于使光通过的开口部并具有不透过光的导体部的阴极电极；使阴极电极、上述灯或被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。维持灯、阴极电极、保持被处理基板的被处理基板保持部的这三者的大概位置关系，使其中的至少一个的空间位置周期地振动，由此，阴极电极的影子在被处理基板上随时间的推移而分散。

申请人：东京毅力科创株式会社

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：龙淳

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