专利名称:一种真空镀膜机专利类型:发明专利发明人:成军
申请号:CN201210196173.6申请日:20120614公开号:CN102703865A公开日:20121003
摘要:本发明公开了一种真空镀膜机,包括真空镀膜室、温度控制系统、膜厚控制系统和蒸发控制系统,所述真空镀膜室包括隔断装置,所述隔断装置包括隔板和驱动装置,所述驱动装置和隔板连接,控制隔板的开启和关闭。本发明真空镀膜机,可以对蒸发源和产品之间进行隔断,隔绝杂质和气体对镀膜生产的影响,从而能能够制造出高精度的光学薄膜。
申请人:昆山浦力金属工业有限公司
地址:215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇俱巷路136号
国籍:CN
代理机构:苏州广正知识产权代理有限公司
代理人:汪发春
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