硅烷废气的处理装置

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200710005092.2 （22）申请日 2007.02.14

（71）申请人北京行者多媒体科技有限公司限公司

（72）发明人李沅民;马昕（74）专利代理机构

代理人

地址 100086 北京市海淀区中关村南大街2号数码大厦B-901北京行者多媒体科技有

（10）申请公布号 CN101244359A

（43）申请公布日 2008.08.20

（51）Int.CI

B01D53/46; B01D53/72; B01D53/74; F23G7/06;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

硅烷废气的处理装置

（57）摘要

本发明公开了一个新颖的处理硅烷废气的

设备及方法，适用于大规模半导体器件生产过程。该处理系统包含一个高温不锈钢管，里面装满碎石或大的卵石。硅烷废气从薄膜加工设备中

排出后被导入该高温钢管，在其中，硅烷被热分解，分解物沉积在碎石上。碎石需定期更换。本发明的显著特点是，在不可比拟的低成本下就能高效可靠地处理真空镀膜系统中生成的废气。

法律状态

法律状态公告日

2008-08-20 2009-01-21 2010-01-20 2011-03-09 2012-04-11

法律状态信息

公开

地址不明的通知实质审查的生效文件的公告送达

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

地址不明的通知实质审查的生效文件的公告送达

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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