专利名称：一种基板清洗装置及其清洗方法专利类型：发明专利
发明人：王共海,刘善政,王立华,李国春,于永辉,蔡小辉申请号：CN201911185077.X申请日：20191128公开号：CN110860509A公开日：20200306
摘要：本发明公开了一种基板清洗装置及其清洗方法，包括台体、传送机构和清理机构，所述清理机构设置在台体上方的居中部，且传送机构对称分布安装在清理机构的两侧，所述清理机构至少包括平齐对称分布在外框内部第一固定板与第二固定板，以及输送台，所述外框为透明板材，且两侧均为开口设置，供输送台伸出，所述第二固定板上安装有多组吹风头，所述吹风头通过管道与风源连接，多组所述吹风头的出风口均朝向输送台的上方，所述第二固定板朝向输送台的面上还垂直分布安装有出水管，所述出水管的底部安装喷头，所述出水管通过管道与水源连接。该基板清洗装置及其清洗方法，结构合理，功能性强，工作效率高，可广泛推广。
申请人：湖南凯通电子有限公司
地址：422900 湖南省衡阳市邵阳市新邵县酿溪镇七秀路新邵资江科技园
国籍：CN
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