序 日期号点检项目机械泵、罗茨泵、扩散泵、1冷却水管道是否畅通机械泵、罗茨泵、真空油油2位是否正常自动汽缸供水管路压力是否3正常机械泵、罗茨泵、维技泵运4转是否正常扩散泵、加热器接线是否松5动、老化转动轴齿轮盘有无松动、异6响自动汽缸有无松动、漏气现7象1011散热塔水位是否正常散热塔水位控制器是否失控散热塔循环泵、冷却风机是否有异响管道是否有渗透、断裂现象点检人1234567年 月10111213141516171819202122232425262728293031 异常描述备注：1.“√”表示已实施保养或正常，“×”表示不正常，需要维修.2. 发现不正常时请及时与维修组联系解决.3. a.电镀炉电镀500次周期必须要清洗. b.滑阀泵在指定油位内正常运转3-5个月更换真空泵油和清洗. c.扩散泵在正常运转12个月更换扩散泵油各清洗. 表单编号:FM-O-058 V0 保存年限：制表：审批
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