一种激光多焦点动态加工装置[实用新型专利]

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专利名称：一种激光多焦点动态加工装置专利类型：实用新型专利发明人：段军,邓磊敏,刘朋,曾晓雁申请号：CN2017208484.7申请日：20170713公开号：CN20712U公开日：20180406

摘要：本实用新型公开了一种激光多焦点动态加工装置，属于激光加工应用技术领域，其用于将入射到待加工对象的多个同光轴聚焦点沿光轴方向以设定的频率往返运动，以使每个激光焦点沿待加工对象厚度方向线性往返移动，从而将静止的点加热方式转变为线性动态加热方式。其包括激光器、扩束镜、动态聚焦镜、多焦点衍生系统或者多聚焦镜片组、xy两维工作台、工控机、第一直线移动机构以及第二直线移动机构，本实用新型采用多焦点衍生系统或者多聚焦镜片组实现使激光在待加工透明材料中形成多个激光焦点。本实用新型装置可实现更厚的透明脆性材料的高质量和高效率切割分离。其结构相对简单，容易控制。

申请人：华中科技大学

地址：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

国籍：CN

代理机构：华中科技大学专利中心

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