基板处理装置、基板处理方法和存储介质[发明专利]

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专利名称：基板处理装置、基板处理方法和存储介质专利类型：发明专利

发明人：松山健一郎,金子知广申请号：CN201010193078.1申请日：20100528公开号：CN101901747A公开日：20101201

摘要：本发明涉及基板处理装置、基板处理方法和存储介质。该基板处理装置具有利用处理块将已处理过的基板向载体搬送的搬送单元，能够抑制上述搬送单元的搬送工序数的上升，提高生产率。在用于从处理块搬出基板的第二交接模块存在有基板、容纳该基板的载体没有载置在载体载置部的情况下，将第二交接模块的基板搬送到缓冲模块，在第二交接模块存在有基板、容纳该基板的载体载置在上述载体载置部的情况下，无论有无通过缓冲模块向该载体搬送的基板，都将存在于第二交接模块的基板搬送到上述载体，由此，抑制在载体、缓冲模块和第二交接模块之间搬送基板的搬送单元的搬送工序数，抑制生产率的降低。

申请人：东京毅力科创株式会社

地址：日本东京

国籍：JP

代理机构：北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：龙淳

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