专利名称：配屏幕电弧的多功能离子镀膜装置专利类型：实用新型专利
发明人：王殿儒,徐健,金佑民,刘齐成申请号：CN200320127771.4申请日：20031217公开号：CN2700341Y公开日：20050518
摘要：本实用新型涉及配屏幕电弧的多功能离子镀膜装置，安装在靶后的磁场强度大、小可调整，磁场强时按磁控溅射模式运行，磁场弱时按多弧模式运行。在矩形靶的前面，配置了覆盖整个矩形靶面面积的屏幕电弧，特别针对磁控溅射模式时，显著提高靶面附近的离化率。由于靶面积较大，沿矩形靶长边和短边作“跑道”形弧斑运动或起辉，产生的靶材离子在负偏压的作用下，按离子镀的定义沉积在工件上。
申请人：北京长城钛金公司
地址：100095 北京市海淀区北安河路7号北京市95-020信箱
国籍：CN
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