一种滤波芯片及制备方法[发明专利]

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专利名称：一种滤波芯片及制备方法专利类型：发明专利发明人：王晓红,徐思行,夏璠申请号：CN202011135208.6申请日：20201021公开号：CN112468108A公开日：20210309

摘要：本发明实施例提供一种滤波芯片及制备方法，其中，滤波芯片集成有电化学电容器，以及包含若干个PN结的整流电路；其中，所述电化学电容器的基底绝缘层为在所述滤波芯片的硅片衬底上制备所述若干个PN结所需的氧化层；所述电化学电容器的集流层为将所述若干个PN结连接成所述整流电路的金属层。本发明实施例提供的芯片及制备方法，实现了将电路元件和电化学电容在硅片上进行一体化集成与封装，所得到的滤波芯片能够正常工作实现电源滤波功能，降低了工艺复杂度，减少了工艺成本。

申请人：清华大学

地址：100084 北京市海淀区双清路30号清华大学

国籍：CN

代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：聂俊伟

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