（12）发明专利申请
（21）申请号 CN03148461.1 （22）申请日 2003.06.30
（71）申请人 友达光电股份有限公司
地址 台湾省新竹市
（10）申请公布号 CN1567093A （43）申请公布日 2005.01.19
（72）发明人 曾士庭;钟昱正;郭丁瑞 （74）专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
代理人 陈小雯
（51）Int.CI
G03F7/26; G03F7/30; H01L21/027;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
防止液体回溅的装置
（57）摘要
本发明提供一种防止一液体回溅至一物体
上的装置，尤其是涉及一种应用于显影制作工艺的防止回溅装置，其至少包括：一旋转器，其上放置上述的物体，利用旋转器的旋转运动，使物体与液体分离；一侧壁，其环绕于旋转器的周围，以防止液体飞溅至侧壁之外；以及一缓冲
棉，其贴于侧壁的内侧，以防止液体由侧壁回溅至物体上。
法律状态
法律状态公告日
2005-01-19 2005-03-16 2006-05-24
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
防止液体回溅的装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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