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双向拉伸装置及其方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:双向拉伸装置及其方法专利类型:发明专利

发明人:李良彬,陈晓伟,孟令蒲,王道亮,叶克,张文文,严琦申请号:CN201811365132.9申请日:20181116公开号:CN109470563A公开日:20190315

摘要:本发明公开了一种双向拉伸装置及其方法,双向拉伸装置包括:拉伸机构,拉伸机构包括多个用于固定样品的夹具、第一拉伸部件、第二拉伸部件及驱动机构;用于检测样品拉伸力的应力采集系统;双层框架结构,其包括相互叠加的第一框架及第二框架,拉伸机构位于温度控制炉中,第二框架上设置有观察框;与观察框对应设置的X射线探测器;X‑Z方向位移支架具有X方向调节装置及Z方向调节装置;控制及采集系统包括控制驱动机构运行的驱动控制单元、采集系统检测得到的拉伸力数值的应力应变采集单元及与X射线探测器连接的X射线散射图谱采集单元。上述双向拉伸装置,可以实现高通量的加工‑结构‑性能关系表征,从而为高性能薄膜生产提供强有力的指导。

申请人:中国科学技术大学

地址:230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

国籍:CN

代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司

代理人:李海建

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