一种生长Ⅲ族氮化物晶体的装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种生长Ⅲ族氮化物晶体的装置专利类型：实用新型专利

发明人：陈蛟,李成明,刘南柳,巫永鹏申请号：CN2015208634.8申请日：20150826公开号：CN204939659U公开日：20160106

摘要：本实用新型公开了一种生长Ⅲ族氮化物晶体的装置，包括反应釜，所述反应釜内设有至少两个由上往下分布的坩埚，坩埚内底部设有晶种模板，位于反应釜最下部的坩埚通过环流通道与位于反应釜最上部的坩埚相连通，环流通道内设有溶液驱动器，上下分布的相邻的两个坩埚通过连通管相互连通，上方坩埚的连通管延伸至下方坩埚的内部，环流通道设置在反应釜内部或者反应釜外部。本实用新型通过设置多个垂直方向上布局和驱动环流的坩埚，各坩埚内气液界面高N浓度生长溶液向底部的晶种模版附近移动，从而促进氮化物单晶的生长。

申请人：北京大学东莞光电研究院

地址：523000 广东省东莞市松山湖创新科技园1号楼418室

国籍：CN

代理机构：广州粤高专利商标代理有限公司

代理人：罗晓林

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