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一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极[实用新型专利]

来源：爱go旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的

电极

专利类型：实用新型专利

发明人：黄成强,汪明刚,陈波,李超波申请号：CN201120352699.X申请日：20110920公开号：CN202307823U公开日：20120704

摘要：一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极，包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器，所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器，所述升降器上固定连接有下电极托盘，所述下电极托盘设置在导轨器的上方，所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘，所述顶盘的下部开有圆柱形槽，所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘，所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙，所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔，所述第一通孔与冷却气入口连通；所述底盘的底部中心开有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔隔离设置，所述第二通孔的底端连接有密封管，所述第二通孔与冷却气出口连通。本实用新型的有益效果：冷却效果好，从而使刻蚀效果好。

申请人：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心

地址：314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城)

国籍：CN

代理机构：浙江杭州金通专利事务所有限公司

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