专利名称：感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件专利类型：发明专利
发明人：大江匡之,小松博,津丸佳子,川崎大,加藤幸治,上野巧申请号：CN200480040128.5申请日：20041216公开号：CN19028A公开日：20070124
摘要：一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如通式(I)所示的重复单元的聚酰胺(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团，p表示重复单元数的整数)；(b)经光照产生酸的化合物；及(c)如通式(II)所示的化合物(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基：R及R各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。
申请人：日立化成杜邦微系统股份有限公司
地址：日本国东京都
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：朱丹
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- igat.cn 版权所有 赣ICP备2024042791号-1
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务