等离子清洗机[发明专利]

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专利名称：等离子清洗机专利类型：发明专利

发明人：朱霆,叶贤斌,李,杨建新,张凯申请号：CN202011013982.X申请日：20200923公开号：CN112222107A公开日：20210115

摘要：本发明提出一种等离子清洗机。所述等离子清洗机包括清洗机本体、安装件、夹持治具及调节装置。其中，所述清洗机本体包括控制器；所述安装件安装于所述清洗机本体上；所述夹持治具安装于所述安装件上，所述夹持治具具有夹槽，所述夹槽的宽度可调；所述调节装置安装于所述夹持治具的一侧，所述调节装置与所述控制器电连接，所述调节装置用于调节所述夹槽的宽度。本发明的等离子清洗机，能够提高夹持治具的兼容性，以提高等离子清洗机的适用性。

申请人：深圳泰德半导体装备有限公司

地址：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区工业区坪山镇豪威新材料厂区3#综合楼103

国籍：CN

代理机构：深圳市恒程创新知识产权代理有限公司

代理人：刘冰

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