专利名称：靶材组件及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,潘杰,相原俊夫,大岩一彦,王学泽,段高林申请号：CN201510728688.X申请日：20151030公开号：CN106624235A公开日：20170510
摘要：本发明提供一种靶材组件及其制造方法，包括：提供氧化铟锡靶材、背板和焊料，所述氧化铟锡靶材用于焊接的面为第一焊接面，所述背板用于焊接的面为第二焊接面，所述焊料为铟焊料；通过所述铟焊料对所述氧化铟锡靶材的第一焊接面和背板的第二焊接面进行焊接，以形成靶材组件。其中，通过铟焊料对氧化铟锡靶材和背板进行焊接，铟焊料能够很好地浸润氧化铟锡靶材。因此能够提高靶材组件的焊接强度。此外，铟焊料的熔点较低，焊接温度较低，从而焊接过程中氧化铟锡靶材内部组织结构不容易发生变化，且氧化铟锡靶材的第一焊接面不容易被氧化，进而能够使氧化铟锡靶材与背板结合更紧密，因此能够提高靶材组件的焊接强度。
申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
地址：315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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