专利名称:硅加热元件专利类型:发明专利
发明人:博日达·佐里奇,佩塔尔·比扬诺维奇,兹德拉夫科·本德
科维奇
申请号:CN91105300.X申请日:19910627公开号:CN1068006A公开日:19930113
摘要:一种硅加热元件,包括一个高导热性的电绝缘基 底(A),该基底(A)承载着一硅层(B)和电接点(C),最好 用氧化铍或氮化铝来制作基底(A)。硅层(B)由多晶 或非晶硅组成,其中掺杂P型或N型半导体掺杂剂, 最好掺杂浓度高于10/cm。电接点是耐高温的, 并熔合到硅层(B)上。另外,电接点由一层与电绝缘 基底(A)接触的耐熔金属接点层(C′)和一种熔合到 接点层(C′)上的第二耐温材料(C″)组成。通过将多 晶或非晶硅层(B)涂敷到高导热性的电绝缘基底(A) 上来制作硅加热元件。
申请人:比罗工程师企业公司
地址:列支敦士登沙恩
国籍:LI
代理机构:中国专利代理()有限公司
代理人:马崇德
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