专利名称：干式蚀刻气体的制造方法专利类型：发明专利
发明人：中村新吾,江藤友亮,大塚达也,福本可奈子,内藤真人申请号：CN201380059241.7申请日：20131112公开号：CN104781220A公开日：20150715
摘要：本发明提供一种能够以高纯度、安全且廉价地制造作为干式蚀刻气体等有用的氟代甲烷和3,3,3-三氟-2-(三氟甲基)丙酰氟((CF)CHCOF)的方法。在催化剂的存在下，使1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚以气相状态热分解，通过该方法，使用廉价的原料，利用在气相中的热分解反应这样的简单方法，能够以高原料转化率、选择性良好地得到目标氟代甲烷和3,3,3-三氟-2-(三氟甲基)丙酰氟。
申请人：大金工业株式会社
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：北京尚诚知识产权代理有限公司
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