专利名称：抛光垫和使用抛光垫的系统和方法专利类型：发明专利
发明人：保罗·S·勒格,琏·S·谭,布鲁斯·A·斯文特克申请号：CN201680025995.4申请日：20160511公开号：CN107614200A公开日：20180119
摘要：抛光系统包括被构造成接收并保持基板和抛光垫的第一载体组件。抛光垫包括顶部主表面和与该顶部主表面相对定位的底部主表面，以及从抛光垫的顶部主表面延伸的多个抛光元件。该系统还包括设置在抛光垫的顶表面和基板之间的抛光液。抛光流体包含流体组分和分散在流体组分中的多个陶瓷磨料复合物，该陶瓷磨料复合物包含分散在多孔陶瓷基体中的单独的磨料颗粒。该系统还包括被构造成接收并保持抛光垫的第二载体组件。该系统被构造成使得抛光垫能够相对于基板运动以进行抛光操作。
申请人：3M创新有限公司
地址：美国明尼苏达州
国籍：US
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：牛海军
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