专利名称：Polishing slurry and polishing method发明人：Kato, Hiroshi,Mochizuki, Naoto,Kono,
Hiroyuki
申请号：EP00106038.3申请日：20000329公开号：EP1041129B1公开日：20070509
摘要：Array
申请人：TOKUYAMA CORP
地址：JP
国籍：JP
代理机构：Albrecht, Thomas
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