一种碳化硅晶体砂浆线切割废液的回收方法[发明专利]

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专利名称：一种碳化硅晶体砂浆线切割废液的回收方法专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN202011090763.1申请日：20201013公开号：CN112209380A公开日：20210112

摘要：一种碳化硅晶体砂浆线切割废液的回收方法，它属于碳化硅晶体加工技术领域。本发明经过一级过滤、二级过滤后将二级悬浮液加入真空蒸馏装置，蒸馏温度110～130℃，蒸馏后得到回收的聚乙二醇蒸馏液，纯水清洗、酸洗处理、干燥后筛分，用1000目方孔筛后筛上得到回收的碳化硅颗粒，筛下得到第二物料中加入氢氧化钠溶液，加热搅拌条件下反应12～24h，然后进行固液分离，得到的第三滤渣用纯水进行水洗，直到溶液的pH为7，然后将混合溶液打入压滤机，进行固液分离，得到第三物料干燥处理后，置于管式炉中，在空气中加热至690～730℃恒温2～4h，得到回收的金刚石颗粒。本发明用于SiC颗粒、金刚石颗粒及聚乙二醇的回收。

申请人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司

地址：150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区哈西大街与学府四道街交汇处第40栋-1-2层12号

国籍：CN

代理机构：哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)

代理人：赵君

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