专利名称：一种电阻测试结构专利类型：发明专利发明人：孙素
申请号：CN202010760429.6申请日：20200731公开号：CN111796148A公开日：20201020
摘要：本发明公开了一种电阻测试结构，采用将若干四探针测试结构串联的方式，在测试结构的两端施加电流I，在每个待测电阻结构两端分别量测每个待测电阻两端的电位差，从而得到每个待测电阻的阻值，通过本发明，可解决使用多个Kelvin四探针法测试电阻结构导致焊垫数量过多的问题，有效减少焊垫使用量。
申请人：上海华力微电子有限公司
地址：201315 上海市浦东新区良腾路6号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：曹廷廷
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