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一种基于双金属光栅的塑料光纤表面等离子传感器及其应用[发明专利]

来源：爱go旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种基于双金属光栅的塑料光纤表面等离子传感器

及其应用

专利类型：发明专利

发明人：冯德军,刘冠秀,刘希路申请号：CN2014105102.6申请日：20140928公开号：CN104406939A公开日：20150311

摘要：本发明涉及一种基于双金属光栅的塑料光纤表面等离子传感器，包括作为基底的塑料光纤和设置在所述光纤上表面和下表面的双层金属光栅；所述塑料光纤为去除包层、且芯径1mm的塑料光纤；所述双层金属光栅包括单面具有凹凸周期结构的介质层，在所述凹凸周期结构的上表面均设置有金属薄膜层，形成光栅；其中所形成光栅的占空比为1；所述金属光栅利用激光双光束干涉光刻法制作而成；所述光栅，其周期和深度可调。本发明将双层金属光栅制作在塑料光纤表面，将光纤波导耦合和光栅耦合方结合在一起兼具塑料光纤传输优势和金属光栅高激发效率的优势，其共振波长可调谐，该结构在折射率传感中具有重要应用。

申请人：山东大学

地址：250100 山东省济南市历城区山大南路27号

国籍：CN

代理机构：济南金迪知识产权代理有限公司

代理人：吕利敏

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