一种基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法[发明专利]

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专利名称：一种基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法专利类型：发明专利

发明人：黄继宝,钱金贵,冮建华,黄波申请号：CN201711383154.3申请日：20171220公开号：CN107934906A公开日：20180420

摘要：本发明公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，构成包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本发明具有优异的柔韧性和高断裂强度，大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本发明还采用磁性复合材料来替代永磁铁的使用，可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度，提高了实用性和便利性。

申请人：爱科赛智能科技(台州)有限公司

地址：317527 浙江省台州市温岭市温峤镇莞渭童村

国籍：CN

代理机构：杭州新源专利事务所(普通合伙)

代理人：余冬

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