单晶炉停炉预防热场损坏方法[发明专利]

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专利名称：单晶炉停炉预防热场损坏方法专利类型：发明专利发明人：赵贝,李增卫,赵群申请号：CN202010731096.4申请日：20200727公开号：CN111826707A公开日：20201027

摘要：本发明提供一种单晶炉停炉预防热场损坏方法，方法包括步骤1，石英坩埚内有剩料熔融硅液时，拉制晶体，晶体的第一长度进入水冷热屏；步骤2，晶体拉制到第二长度后，停止拉制晶体，且晶体的一端与熔融硅液液面接触；步骤3，在晶体静止后，单晶炉底部的副加热器加热功率下降为零；步骤4，单晶炉四周的主加热器分三个阶段降低功率，直至主加热器加热功率下降为零；步骤5，冷却一定时间后拆单晶炉。根据本发明实施例的方法，能够拉制一定长度单晶增大迁热体积，加快石英坩埚中部熔融硅液凝结速度，降低了应力集中度，单晶炉上加热器阶梯式停止加热，减缓石英坩埚四周硅凝结速度，让出应力释放区，从而最大限度的保证热场的完整性。

申请人：邢台晶龙新能源有限责任公司

地址：0000 河北省邢台市邢台经济开发区信都路188号

国籍：CN

代理机构：上海华诚知识产权代理有限公司

代理人：徐颖聪

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