（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201220396724.9 （22）申请日 2012.08.06
（71）申请人 深圳市石金科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街道大洋路南侧4栋一楼二楼东
（10）申请公布号 CN202730297U
（43）申请公布日 2013.02.13
（72）发明人 冯银辉
（74）专利代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
代理人 胡海国
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
直拉法单晶炉热场结构
（57）摘要
本实用新型涉及一种直拉法单晶炉热
场结构，包括：炉体、位于炉体内的坩埚、位于炉体内及坩埚外的保温筒、位于坩埚外及保温筒中部之间的加热器以及位于保温筒内及坩埚之上的导流筒，导流筒包括内导流筒、外导流筒；保温筒包括上保温筒、中保温筒及下保温筒；中保温筒上设有中保温盖，中保温盖和上保温筒之间设置排气口装置。本实用新型改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性，便于对温度、结晶的控制，提高了单晶棒的成晶质量、良品率及
产能，有效的降低了单晶硅炉的单位能耗，并节省了成本。 法律状态
法律状态公告日
2013-02-13 2015-08-12 2015-08-12
法律状态信息
授权
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 著录事项变更
法律状态
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权利要求说明书
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说明书
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