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碳化硅器件及其制造方法

来源：爱go旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201810762446.6 （22）申请日 2018.07.12

（71）申请人创能动力科技有限公司

地址中国新界沙田火炭坳背湾街2-12号威力工业中心11楼R室

（10）申请公布号 CN110718452A

（43）申请公布日 2020.01.21

（72）发明人陈伟钿;周永昌;张永杰

（74）专利代理机构深圳中一联合知识产权代理有限公司

代理人张全文

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

碳化硅器件及其制造方法

（57）摘要

本发明提供了碳化硅器件及其制造方法。

示例性方法包括对第一硬模进行图案化以形成图案化的第一硬模，利用图案化的第一硬模形成具有与第一导电类型相反的第二导电类型的体区。对第二硬模进行图案化以形成图案化的第二硬模，利用图案化的第一硬模和图案化的第二硬模同时形成具有第二导电类型的接触区和汇区。本发明还公开了其他的示例性方法及碳化硅器件。根据本发明的器件及方法简化了工艺步骤、实现

了沟道自对准、减少了器件的单元间距、提升了碳化硅器件的性能和应用。

法律状态

法律状态公告日

2020-01-21 2020-01-21 2020-02-21

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效

法律状态

公开公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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