（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN99113699.3 （22）申请日 1999.05.13
（71）申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
（10）申请公布号 CN1122821C （43）申请公布日 2003.10.01
（72）发明人 杨莉松;王桂英;徐至展
（74）专利代理机构 上海智信专利代理有限公司
代理人 李兰英
（51）Int.CI
G01B11/30;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
共焦扫描检测材料面形的方法
（57）摘要
一种共焦扫描检测材料面形的方法，
采用共焦扫描系统首先测量被测样品在纵向Z方向上的响应曲线q，对响应曲线q进行归一化处理，求得响应曲线q线性段ab的斜率S；然后在响应曲线q线性段ab内测量被测样品表面任意点的光强I’，并将其按该点纵向上扫描得到的最大光强I 法律状态
法律状态公告日
2000-06-28
法律状态信息
实质审查请求的生效
法律状态
实质审查请求的生效
法律状态公告日
2000-11-22 2003-10-01 2007-07-11
公开 授权
法律状态信息
公开 授权
法律状态
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
权利要求说明书
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说明书
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