一种渐变折射率减反射膜的制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201110400242.6 （22）申请日 2011.12.06

（71）申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

（10）申请公布号 CN102517620A

（43）申请公布日 2012.06.27

（72）发明人 陈俊武;王彪;杨毅;许高杰;崔平 （74）专利代理机构 宁波诚源专利事务所有限公司

代理人 袁忠卫

（51）Int.CI

C25D11/04; C25D11/24;

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种渐变折射率减反射膜的制备方法

（57）摘要

本发明设计一种渐变折射率减反射膜的制

备方法，其特征在于包括在光学基片上镀铝膜，根据渐变折射率减反射膜的应用场合要求，设定拟制备的渐变折射率减反膜的层数、每层折射率和厚度；然后根据确定每层所需的阳极氧化深度、每层所需的阳极氧化时间、各层多孔氧化铝孔隙率值和定每层多孔氧化铝在阳极氧化后进行

化学刻蚀的时间，根据上述参数反复进行阳极氧化和化学刻蚀，最后氧化退火；本发明在制备过程中可以通过精确控制阳极氧化和化学刻蚀的时间来控制不同膜层的厚度和折射率，可得到任意层数的折射率连续变化的减反射薄膜，因此，在可见和红外波段有很好的宽谱减反射效果。

法律状态

法律状态公告日2012-06-27 2012-09-05 2014-12-17 2016-12-28

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

专利申请权、专利权的转移

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权利要求说明书

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说明书

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