一种衍射光栅的设计方法及系统[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种衍射光栅的设计方法及系统专利类型：发明专利

发明人：李璟,杨光华,卢增雄,张清洋,丁敏侠申请号：CN202010594125.7申请日：20200624公开号：CN111610586A公开日：20200901

摘要：本公开提供了一种衍射光栅的设计方法及系统，方法包括：S1，获得衍射光栅衍射光的零衍射级和高衍射级的衍射效率增强和缺级的条件；S2，根据零衍射级缺级的第一条件获得衍射光栅的槽深；S3，根据高衍射级增强的条件获得衍射光栅的栅脊宽度和栅脊之间的距离；S4，将步骤S3获得的结构复制并进行对称设置，以使高衍射级的偶衍射级缺级。该方法根据需要增强的衍射级次，选择相应的栅级和栅槽的宽度和位置，不需要将整个光栅结构均设置为优化条件进行优化，避免了大量计算。

申请人：中国科学院微电子研究所

地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号

国籍：CN

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：周天宇

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