单晶炉的结构[发明专利]

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专利名称：单晶炉的结构专利类型：发明专利发明人：潘燕萍,潘国强申请号：CN2009100304.8申请日：20090420公开号：CN101550588A公开日：20091007

摘要：本发明涉及利用多晶硅提拉出单晶硅的一种装置，具体是一种单晶炉的结构。该结构上炉体、炉盖、翻板箱、副炉内均设置有流通冷却液的夹层，炉底板上设置有加热装置和支撑装置，加热装置和支撑装置穿入炉体，炉体内设置有保温层和盛放多晶硅材料的容器，该保温层设置在炉体与加热装置之间，容器设置在支撑装置端部，炉体顶端设置有氩气的导流装置，翻板箱内设置有翻板闸门装置，副炉顶部设置有提拉机构，炉底板底部与翻板箱侧壁均设置有真空抽口，炉体、炉盖、翻板箱、副炉上均设置有镁棒接口。本发明的有益效果是提高生产效率，降低生产成本，延长了单晶炉的使用寿命。

申请人：潘燕萍,潘国强

地址：213129 江苏省常州市新北区孟河镇万绥齐梁路157号

国籍：CN

代理机构：常州市维益专利事务所

代理人：何学成

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