洁净区

第一章

一、洁净区概述

1、定义

1.1、洁净区：在洁净区厂房设计规范的定义为：空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

1.2、洁净室：亦称为无尘室或洁净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求满园内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性，它是污染控制的基础。没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

2、分类

2．1、洁净区可以是开放式或封闭式。

2.2、洁净室与洁净区的区别：洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，而洁净室的定义为空气悬浮粒子受控的房间，一个是房间一个是空间，不难看出，洁净室是指一个小的受控房间而洁净区则是可以包含多个这样的洁净室。

2.3、洁净室分类：

（1）乱流式：空气由空调箱经过风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1000——10000级。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往耗时相当长一段时间。

（2）层流式：层流式空气气流运动成一均匀这直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1——100.

其型式可分为两种：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度。在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排除室外而不会影响其它工作区域。

优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

（3）复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高到10级以上，可节省安装运转费用。

此型式需要将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：A、弹性扩充容易：B、维修设备进可在维修区轻易执行。

2、洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

3、并装局部洁净室：将洁净室等级10000——100000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10——1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。