专利名称：衬底处理设备专利类型：发明专利
发明人：尹斗永,池尙炫,李成龙申请号：CN201410584852.X申请日：20141027公开号：CN104576358A公开日：20150429
摘要：本发明涉及一种衬底处理设备，尤其涉及一种在衬底上执行热处理的衬底处理设备。本发明的示例性实施例包含：热处理腔室，其具有用于衬底的热处理空间；衬底支架，其用于在所述热处理空间中支撑所述衬底；加热块，其包含产生热能的加热灯和用于朝向所述衬底支架注射气体的气体入口孔，其中所述加热灯和所述气体入口孔设置为面向所述衬底支架。
申请人：AP系统股份有限公司
地址：韩国京畿道华城市东滩面东滩产团8便道15-5
国籍：KR
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：臧建明
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