衬底处理方法及衬底处理装置[发明专利]

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专利名称：衬底处理方法及衬底处理装置专利类型：发明专利

发明人：藤原直澄,尾辻正幸,加藤雅彦,佐佐木悠太,山口佑,髙

桥弘明

申请号：CN201980037650.4申请日：20190612公开号：CN112236846A公开日：20210115

摘要：该衬底处理方法包括：混合升华性物质供给工序，将混合升华性物质供给到衬底的正面，该混合升华性物质是将具有升华性的第1升华性物质、具有比所述第1升华性物质低的蒸气压且具有升华性的第2升华性物质、及相对于所述第1升华性物质及所述第2升华性物质中的至少一种物质可溶的溶剂相互混合而成；凝固膜形成工序，就存在于所述衬底正面的所述混合升华性物质，形成包含所述第1升华性物质及所述第2升华性物质的凝固膜；以及升华工序，使所述凝固膜所包含的至少所述第1升华性物质升华。

申请人：株式会社斯库林集团

地址：日本京都

国籍：JP

代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人：陈甜甜

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