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衬底处理方法及衬底处理装置[发明专利]

来源:爱go旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:衬底处理方法及衬底处理装置专利类型:发明专利

发明人:藤原直澄,尾辻正幸,加藤雅彦,佐佐木悠太,山口佑,髙

桥弘明

申请号:CN201980037650.4申请日:20190612公开号:CN112236846A公开日:20210115

摘要:该衬底处理方法包括:混合升华性物质供给工序,将混合升华性物质供给到衬底的正面,该混合升华性物质是将具有升华性的第1升华性物质、具有比所述第1升华性物质低的蒸气压且具有升华性的第2升华性物质、及相对于所述第1升华性物质及所述第2升华性物质中的至少一种物质可溶的溶剂相互混合而成;凝固膜形成工序,就存在于所述衬底正面的所述混合升华性物质,形成包含所述第1升华性物质及所述第2升华性物质的凝固膜;以及升华工序,使所述凝固膜所包含的至少所述第1升华性物质升华。

申请人:株式会社斯库林集团

地址:日本京都

国籍:JP

代理机构:北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人:陈甜甜

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