专利名称：衬底处理方法及衬底处理装置专利类型：发明专利发明人：尾辻正幸
申请号：CN201980034028.8申请日：20190422公开号：CN112189252A公开日：20210105
摘要：本发明中，将凝固点低于吸附物质的凝固点的干燥前处理液供给至衬底(W)的表面，使吸附物质吸附于图案(P1)的表面。冷却衬底(W)上的干燥前处理液，由此使衬底(W)上的干燥前处理液的一部分凝固而沿着图案(P1)的表面形成含有吸附物质的凝固膜(101)。一面使凝固膜(101)残留于衬底(W)的表面，一面将未用于形成凝固膜(101)的剩余的干燥前处理液自衬底(W)的表面去除。当将剩余的干燥前处理液去除后，或与将剩余的干燥前处理液去除同时地，通过使凝固膜(101)变成气体而将凝固膜(101)自衬底(W)的表面去除。
申请人：株式会社斯库林集团
地址：日本京都
国籍：JP
代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：陈甜甜
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