专利名称：衬底处理设备专利类型：发明专利
发明人：J.A.卡文斯,L.F.沙罗克,K.M.勒图尔纳,S.麦金尼,D.雅
琴卡
申请号：CN201780069173.0申请日：20170905公开号：CN109923657A公开日：20190621
摘要：一种衬底处理设备，包括：框架；以及至少一个衬底输送臂，其具有至少一个末端执行器，每个末端执行器具有：基部；安装到所述基部并从所述基部悬垂的第一和第二衬底支撑齿，其中，所述第一和第二衬底支撑齿中的至少一个可相对于所述基部移动，所述第一和第二衬底支撑齿中的每一个具有相应的衬底接触件，所述衬底接触件构造成以所述第一和第二衬底支撑齿的所述衬底接触件之间的衬底支撑座尺寸跨度在所述第一和第二衬底支撑齿的相应接触件之间接触并支撑所述末端执行器保持的衬底，以及末端执行器驱动部段，其构造成在运行中改变所述第一和第二衬底支撑齿之间相对于彼此的距离。
申请人：布鲁克斯自动化公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容