一. MOS管工艺 (1) 普通MOS管
这种结构很容易和多晶硅电阻混淆,判别方法是: 1.多晶硅是否放置在有源区上面; 2.看多晶硅有几个端口引出。
高宽长比MOS器件:
(2) 叉指MOS管
叉指MOS管判断的关键是看多晶硅层,观察它有几个输入。 (3) 耐高压MOS管
该晶体管为Extended-Drain, High-Voltage transistor,为非自对准工艺,版图示意如上。这种晶体管使用n阱作为轻掺杂的漏极。
这种结构为源漏不对称的MOS管,具体实现高压原理不是很清楚。 (4) 功率开关MOS管
版图上的一半面积都用来做电路中的一个关键器件——功率开关MOS,版图示意如上。源漏区域为矩阵结构,且漏极也做在n阱中,为非自对准工艺,因此判断这个晶体管是waffle transistor和Extended Drain HV transistor的结合,可承受高压大电流。
另外,在版图中,NMOS和PMOS可通过如下规则判断: 1、对于数字电路,CMOS中的P管W/L大,N管W/L小 2、源极接Vdd的一般为PMOS,接Vss的一般为NMOS
3、模拟电路不完全服从以上规律。可结合电路结构来分析。如差分放大器尾电流接Vss,则差分对及尾电流MOS器件为NMOS,负载管则可以基本判定为PMOS
二. BJT工艺
基本规则:从版图上来看,晶体管的集电极和发射极具有相同的颜色。 BJT工艺一般分为VNPN和LPNP两种工艺,其中VNPN又分两种:Standard VNPN 和 double-base VNPN (1) VNPN
(2) double-base VNPN
(3) LPNP
其他形式的版图:
(4) LNPN
这种结构与一般VNPN结构的区别在于,后者一般是用P-SUB制作,而它采用的是N-SUB,P-WELL的工艺。
在版图中,NPN管和PNP管可通过如下规则判断:纵向管:除极特殊的情况外,NPN管的C极接向电源正极,PNP的C极接向电源负极。NPN管小尺寸管,PNP往往为大尺寸横向或纵向管。
三. BICMOS工艺 1.CMOS工艺的NPN管
与标准CMOS相比,增加一个低浓度P区,在N阱中形成NPN的基区,P+有源作基极引出,N+有源作NPN发射极,集电极扩展隔离,通过N+ plug深扩展,既构成集电极引出塞子,又形成隔离槽。这是双阱双埋层结构。
2.GC-LCPNP
将传统的PNP的E,也就是发射极用poly gate包围起来,形成类似PMOS的结构,symbol如图右所示。
加这个gate的要求是Vg>Ve>Vb,通常Vg不应小于Ve,如果比Ve还小,就无法工作了,所以强调Vg>=Ve)。
假设Vg太小,即加在PMOS的gate的加压,会导致PMOS导通,进而使Ve接近于Vc(饱和 )
参照PNP的工作原理 (类似共集电极),可参照下面剖面图进行分析。(Ve>Vb>>Vc,EB正偏,BC反偏)(forward) 分析后可以得出, 类似PMOS结构必须截止!!
o 但不等于将E(发射极)切断,反而是电子积聚在B(基极),从而加大从E到B的电场作用,并使基极浓度加大,电子经过基极时间减少,迅速到达发射极。
o 如此分析得出结论,此种结构增强了PNP的工作性能,并能在受影响的环境中工作正常,这也是现在大家愿意采用这种结构的原由所在。
四. 二极管工艺
通常二极管是由三极管通过B-C或C-E对接来构成二极管,前一种连接为普通二极管,后一种连接为齐纳二极管。这两种二极管的版图识别可以通过先判断晶体管,然后再判断晶体管有几个引出端来判断。
除此之外,由于电路性能的需要,可能存在比较特殊的二极管版图结构。
五. 电阻工艺
电阻工艺可以分为三类:Diff Resistor,Poly Resistor和Nwell Resisitor。
六. 电容工艺
最形象的电容结构为两个导电极板中间夹一个介质层,在版图识别中,可以看作导电极板的是POLY,METAL1,METAL2以及扩散层,一般介质层都是由绝缘硅层构成的。电容主要为POLY-POLY电容,METAL-POLY电容,METAL2-METAL1电容,多晶硅-n+扩散层MOS电容,MOS管源漏对接电容。
下面是一些常见电容版图: MMC:
三明治:
七. 简单电路—RS触发器的识别 (1) 由NAND构成的RS触发器
(2) 由NOR构成的RS触发器
对这两个版图进行分析,前者基本单元是NAND,后者的基本单元是NOR,可以先分析这两种电路的版图,然后再对RS触发器版图进行识别。
N管:串与并或 P管:串或并与
注意:关键是看有几个引出端与vdd和gnd相连。
通过上面的说明,可以先对下面的版图进行识别。
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