专利名称：一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统专利类型：发明专利发明人：滑喜宝
申请号：CN201210567620.4申请日：20121224公开号：CN102978690A公开日：20130320
摘要：本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单，冷却能力强，制造成本低，换热效果更好。
申请人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司
地址：215212 江苏省苏州市工业园区苏惠路88号环球财富广场1幢2803室
国籍：CN
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