专利名称：一种大尺寸蓝宝石单晶炉的小炉盖结构专利类型：实用新型专利
发明人：左洪波,杨鑫宏,李铁,周德印申请号：CN201721061348.7申请日：20170823公开号：CN207130363U公开日：20180323
摘要：本实用新型涉及一种大尺寸蓝宝石单晶炉的小炉盖结构，由观察窗、观察窗挡板、供籽晶杆通过的圆形通孔、炉盖内水路隔板和冷却水进出口水嘴组成。观察窗设置在小炉盖的6点和9点方向，与竖直方向有一定夹角，窗口覆盖蓝宝石镜片；观察窗挡板为钼片，与炉盖接触处用橡胶密封圈密封；小炉盖中心的圆形通孔可以供籽晶杆通过，上部的内螺纹孔可以与伸缩波纹管连接；炉盖内腔中的隔板以螺旋状分布，中间可供冷却水通过；冷却水进出口水嘴内部有网格状的过滤装置，防止杂物进入到小炉盖内部。本实用新型结构整体冷却效果好，炉内径向温度分布合理，更利于生长大尺寸、高品质蓝宝石单晶。
申请人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
地址：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
国籍：CN
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