专利名称：洁净室及其方法专利类型：发明专利发明人：J·拉皮萨达,T·科利申请号：CN200610077806.6申请日：20000807公开号：CN1952315A公开日：20070425
摘要：一种避免在现有技术洁净室的高架地板中发现的问题的洁净室，其使用了设备可在其上直接放置的打孔地板。该打孔地板包括一规则阵列的开口，空气可从该开口穿过进入下面的装置室。该开口由空气可从其穿过的格栅覆盖。打孔地板和格栅结合地能够支撑其上任何位置的设备。
申请人：斯皮德法姆-艾佩克公司
地址：美国亚利桑那州
国籍：US
代理机构：中国专利代理()有限公司
代理人：谭祐祥
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