专利名称：Gas flow rate control apparatus
发明人：Yamagish, Yutaka, c/o HORIBA, LTD.,Asano,
Ichiro c/o HORIBA LTD.
申请号：EP99113442.0申请日：19990712公开号：EP0973080A2公开日：20000119
专利附图：
摘要：Array
申请人：HORIBA, LTD.
地址：2 Miyanohigashi-machi Kissyoin Minami-ku Kyoto JP
国籍：JP
代理机构：MÜLLER & HOFFMANN Patentanwälte
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