微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201510671505.5 （22）申请日 2015.10.19 （71）申请人 中北大学

地址 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

（10）申请公布号 CN105387852B

（43）申请公布日 2018.02.02

（72）发明人 王任鑫;白冰;唐军;曹慧亮;刘源;刘俊;薛晨阳;张文栋 （74）专利代理机构 太原科卫专利事务所(普通合伙)

代理人 朱源

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

微半球陀螺谐振子的自对准技术制备方法

（57）摘要

本发明为一种微半球陀螺谐振子的自

对准技术制备方法，具体是以刻蚀有环形凹槽和圆形凹槽的硅片为硅衬底，在玻璃薄片上利用溅射金属的方法，形成所需要制备的图形和导线，利用高温下玻璃在熔融状态易被吹起的特性，使其形成空球壳和空环形壳体，通过腐蚀玻璃的方法，使没有溅射上金属的空壳部分被腐蚀掉，最终形成类“伞型”、“Y型”半球陀螺谐振子和与其近似平行的检测电极和激励电极。本发明谐振子的表面光滑并且完全对称，利用玻璃上的金

属做掩膜，省去了激光切割技术，降低了成本同时提高了精度；本发明谐振子的谐振频率、品质因数等参数更优秀，同时制备出的激励电极和检测电极能够更完美的平行于谐振子，而且减少了工艺步骤。 法律状态

法律状态公告日2016-03-09 2016-03-09 2016-04-06 2016-04-06 2018-02-02

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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