专利名称：基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方
法
专利类型：发明专利
发明人：吕军军,王万军,付秋波,郭菲申请号：CN201611219449.2申请日：20161226公开号：CN106783391A公开日：20170531
摘要：本发明公开了一种基于柔性制造工艺的高压平面开关结构及其制备方法，包括正电极板、负电极板和信号输入极板，正电极板包括正极板绝缘衬底和正电极，负电极板包括负极板绝缘衬底和负电极，信号输入极板包括爆炸箔绝缘衬底、爆炸箔正电极、爆炸箔负电极，爆炸箔正电极、爆炸箔负电极对应设置；负电极板、信号输入极板、正电极板上下层压构成高压平面开关结构，正电极与负电极在空间位置上存在交叉部分，并且正电极板与负电极板之间通过绝缘衬底隔开，爆炸箔正电极与爆炸箔负电极之间的连线经过该交叉部分。本发明采用柔性印制电路板工艺制备高压平面开关，降低了高压平面开关结构的体积，便于与其他器件之间实现集成；由于采用电爆炸产生等离子体击穿绝缘介质击穿，开关响应时间更快。
申请人：中国工程物理研究院化工材料研究所
地址：621000 四川省绵阳市绵山路64号
国籍：CN
代理机构：四川省成都市天策商标专利事务所
代理人：秦华云
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