专利名称：研磨用组合物专利类型：发明专利发明人：篠田敏男,伊藤大辉申请号：CN202010205869.5申请日：20200323公开号：CN111748283A公开日：20201009
摘要：[课题]本发明的课题在于，提供一种新型的研磨用组合物，其能以相同的速度且以高速研磨2种以上的研磨对象物。[解决方案]一种研磨用组合物，其用于对研磨对象物进行研磨，其包含磨粒、有机化合物和液体载体，前述磨粒的每单位表面积的硅烷醇基数超过0个/nm且为2.5个/nm以下。前述有机化合物具有膦酸基团或其盐的基团。
申请人：福吉米株式会社
地址：日本爱知县
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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