专利名称:一种单晶炉埚杆的修复方法专利类型:发明专利
发明人:刘彬国,何京辉,曹祥瑞,黄瑞强,陈二星申请号:CN201410618479.5申请日:20141106公开号:CN104357897A公开日:20150218
摘要:本发明公开了一种单晶炉埚杆的修复方法,其特征在于,包括以下步骤:将断裂的石墨埚杆的杆体和托体的断裂面整形抛光为平面;在断裂平面的同一位置上,分别制作螺纹孔,托体螺纹孔贯穿托体,螺纹孔孔径相同;再将杆体和托体的断裂平面对接,用螺钉从托体上部旋入托体和杆体的螺纹孔,固定连接杆体和托体;根据固定好的杆体和托体的总长度a,制作加长件,加长件的加长长度为b,使得a和b的和满足所需埚杆的总长度,加长件的上部形状尺寸与托体的上部形状尺寸相同,为圆柱形凹槽;加长件的底面形状尺寸与托体的上部形状尺寸相适配。本发明提供了一种可靠经济的单晶炉石墨埚杆修复方法,延长了埚杆的使用寿命,降低了生产成本,提高了生产效益。
申请人:邢台晶龙电子材料有限公司
地址:054001 河北省邢台市开发区南三环广通路516号
国籍:CN
代理机构:石家庄国为知识产权事务所
代理人:李荣文
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