涂布装置及涂布方法[发明专利]

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专利名称：涂布装置及涂布方法专利类型：发明专利发明人：铃木啓悟

申请号：CN201410373046.8申请日：20140731公开号：CN104511395A公开日：20150415

摘要：本发明提供一种涂布装置及涂布方法，即便在涂布液的粘度高的情况下或过滤器等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。涂布液的供给系统包括：贮存涂布液的贮存槽，以及将所述贮存槽内的涂布液朝向狭缝喷嘴输送的泵。贮存槽配设于腔室内。所述腔室经由压力可变型的调节器与开闭阀而与压缩空气的供给部连接。在泵与贮存槽之间配设着过滤器与开闭阀。泵经由一对开闭阀，而与狭缝喷嘴的两端部连接。在开闭阀与泵之间的配管上，配设着用以对压送到泵中的涂布液的压力进行测定的压力计。

申请人：斯克林集团公司

地址：日本京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1

国籍：JP

代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：臧建明

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