一种在线可调的集成光功率分配器与制备方法[发明专利]

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专利名称：一种在线可调的集成光功率分配器与制备方法专利类型：发明专利发明人：胡翱翔,金兴弟申请号：CN201310633008.7申请日：20131129公开号：CN103744196A公开日：20140423

摘要：本发明属于集成光学领域，涉及一种在线可调的集成光功率分配器与制备方法，包括：选择衬底材料，并在衬底材料上沉积下包层和芯层；采用刻蚀技术将设计的芯层图形刻蚀到芯层，刻蚀后芯层包括输入波导区、过渡波导区、耦合波导区以及输出波导区；沉积上包层将芯层覆盖，并在耦合波导区的上包层制作加热电阻；在加热电阻上沉积SiO薄膜，采用刻蚀技术将设计的电极图形刻蚀到SiO薄膜形成加热电阻的电极，完成晶圆的制备；对完成的晶圆切割成单个芯片。通过在耦合波导区上包层设立加热电阻，波导芯层材料受热光系数的影响，发生折射率的改变，从而实现光功率的不均匀分配。

申请人：宁波天翔通讯设备有限公司

地址：3153 浙江省宁波市余姚马渚镇北兴路192号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：胡彬

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