专利名称：缺陷检测方法专利类型：发明专利发明人：林龙辉,陈嘉云申请号：CN2004100717.4申请日：20041102公开号：CN1770418A公开日：20060510
摘要：本发明提供一种缺陷检测方法，首先，进行一派工程序，其先选取多个晶舟，各晶舟内均装有多个具有一第一缺陷检测数据的晶片，随后将前述的晶舟指派至多个机器，以使每一机器包括至少一晶舟，然后将每一晶舟内的各晶片指派至每一机器的各反应腔体，以使每一反应腔体包括至少一晶片，当前述的派工程序进行完成之后，接着于每一机器的各个反应腔体内，进行一第一工艺于各个晶片上，最后，对工艺后的各晶片进行一第一缺陷检测程序。
申请人：力晶半导体股份有限公司
地址：省新竹市
国籍：CN
代理机构：北京市柳沈律师事务所
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