缺陷检测方法及缺陷检测系统[发明专利]

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专利名称：缺陷检测方法及缺陷检测系统专利类型：发明专利发明人：孟阳,王伟斌

申请号：CN201910838099.5申请日：20190905公开号：CN112444526A公开日：20210305

摘要：一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，包括：提供晶圆，所述晶圆包括检测面；对所述检测面进行扫描，获取所述检测面的扫描图像，所述扫描图像包括若干第一单元图形；提供设计图像，所述设计图像包括与所述第一单元图形对应的若干第二单元图形；根据所述设计图像对所述扫描图像进行筛选，去除所述第一单元图形中的干扰缺陷单元图形。在本发明的技术方案中，通过将第一单元图形中的干扰缺陷单元图形进行部分筛选去除，有效减少了后续检测分析的第一单元图形的数量，缩短了检测时间，从而提高了检测效率。

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江路18号

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：徐文欣

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